HEAL DSpace

Examining scale-up and computer simulation in tool design for 300-mm wafer processing

Αποθετήριο DSpace/Manakin

Εμφάνιση απλής εγγραφής

dc.contributor.author Economou, DJ en
dc.contributor.author Panagopoulos, TL en
dc.contributor.author Meyyappan, M en
dc.date.accessioned 2014-03-01T01:47:11Z
dc.date.available 2014-03-01T01:47:11Z
dc.date.issued 1998 en
dc.identifier.issn 10810595 en
dc.identifier.uri https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/25171
dc.relation.uri http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0000413414&partnerID=40&md5=88604566a3d5449ccadeaa213ce519b0 en
dc.title Examining scale-up and computer simulation in tool design for 300-mm wafer processing en
heal.type journalArticle en
heal.publicationDate 1998 en
heal.abstract [No abstract available] en
heal.journalName MICRO en
dc.identifier.volume 16 en
dc.identifier.issue 7 en
dc.identifier.spage 101 en
dc.identifier.epage 116 en


Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Αρχεία Μέγεθος Μορφότυπο Προβολή

Δεν υπάρχουν αρχεία που σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο.

Αυτό το τεκμήριο εμφανίζεται στην ακόλουθη συλλογή(ές)

Εμφάνιση απλής εγγραφής