Η διεργασία χημικής απόθεσης από ατμό (ΧΑΑ) αποτελεί μία από τις βασικές διεργασίες παραγωγής λεπτών στερεών υμενίων. Πραγματοποιείται σε αντιδραστήρες εξοπλισμένους με ειδικές επιφάνειες, τα δισκία (wafers), πάνω στις ...