Καλλικούνης, Νικόλαος Γ.; Callicounis, Nikolaos G.
(2014-12-15)
Στην παρούσα εργασία μελετάται η ανάπτυξη υμενίων, μέσω της διεργασίας της χημικής απόθεσης από ατμό, σε δισκία με μικρο-τοπογραφία. Το ομοιόμορφο πάχος των υμενίων σε όλη την έκταση του δισκίου είναι μια τυπική προδιαγραφή ...