Τρικουράκη, Αικατερίνη Π.; Trikouraki, Aikaterini P.
(2013-01-08)
Η χημική απόθεση από ατμό ΧΑΑ, (chemical vapor deposition - CVD) είναι μια ευρέως χρησιμοποιούμενη μέθοδος για την παραγωγή στερεών λεπτών υμενίων σε ειδικά σχεδιασμένους αντιδραστήρες. Η πρόδρομη χημική ένωση, που ...