Η κατασκευή συσκευών και συστημάτων με διαστάσεις μικρο-κλίμακας, γνωστών με τα ακρώνυμα MEMS, αποτελεί ένα από τα πιο ενδιαφέροντα επιτεύγματα της τεχνολογίας τα τελευταία χρόνια. Αντικείμενο της εργασίας αυτής είναι η ...