Μιμηγιάννη, Αριστέα Η.; Mimigianni, Aristea I.
(2011-10-26)
Το καθαρό κρυσταλλικό πυρίτιο αποτελεί βασικό υλικό στη βιομηχανία των ημιαγωγών, ιδιαίτερα στην ανάπτυξη των μικρο/νανοηλεκτρομηχανικών συστημάτων (MEMS/NEMS). Για τον σχεδιασμό ή την κατασκευή των MEMS/ NEMS, απαιτείται ...