Η παρούσα εργασία αναφέρεται στις νανομηχανικές και νανοτριβολογικές ιδιότητες υμενίων SiOx (με x~1.8) πάχους 50 nm, που εναποτίθενται με εξάχνωση μέσω δέσμης ηλεκτρονίων (Electron Beam Evaporation) πάνω σε μεμβράνες ...