Κατασκευή και χαρακτηρισμός μικρογεννητριών για τη συλλογή της μηχανικής ενέργειας του περιβάλλοντος

Μπόσιος, Γεώργιος; Bosios, Georgios

dc.contributor.author	Μπόσιος, Γεώργιος	el
dc.contributor.author	Bosios, Georgios	en
dc.date.accessioned	2016-09-15T08:26:19Z
dc.date.available	2016-09-15T08:26:19Z
dc.date.issued	2016-09-15
dc.identifier.uri	https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/43529
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.26240/heal.ntua.12514
dc.rights	Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ελλάδα	*
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/gr/	*
dc.subject	Συλλογή ενέργειας	el
dc.subject	Μικρογεννήτριες	el
dc.subject	Οξείδιο του ψευδαργύρου (ZnO)	el
dc.subject	Ακουστική διέγερση	el
dc.subject	MEMS	en
dc.title	Κατασκευή και χαρακτηρισμός μικρογεννητριών για τη συλλογή της μηχανικής ενέργειας του περιβάλλοντος	el
heal.type	bachelorThesis
heal.classification	Μικροηλεκτρονική και νανοηλεκτρονική	el
heal.classificationURI	http://data.seab.gr/concepts/985654217613024cb9e11395d0f1fe73889f17cb
heal.classificationURI	http://data.seab.gr/concepts/985654217613024cb9e11395d0f1fe73889f17cb
heal.language	el
heal.access	free
heal.recordProvider	ntua	el
heal.publicationDate	2016-07-25
heal.abstract	Στην παρούσα διπλωματική εργασία παρουσιάζεται η κατασκευή και ο χαρακτηρισμός μικρογεννητριών πυριτίου υλοποιημένες με τεχνολογίες μικροηλεκτρομηχανικής (MEMS) για τη συλλογή μηχανικής ενέργειας από το περιβάλλον. Ο σκοπός των συλλεκτών ενέργειας είναι η μετέπειτα ολοκλήρωσή τους σε ηλεκτρονικά κυκλώματα χαμηλής ισχύος, καθιστώντας τα έτσι ενεργειακά αυτόνομα. Στο πλαίσιο της εργασίας κατασκευάστηκαν και μελετήθηκαν δύο διαφορετικοί τύποι μικρογεννητριών. Ο πρώτος τύπος αποτελείται από μία πρόβολο πυριτίου με μάζα αδράνειας από πυρίτιο και ένα πιεζοηλεκτρικό υμένιο ZnO κατά μήκος της προβόλου. Ο δεύτερος τύπος μικρογεννητριών κατασκευάστηκε πάνω σε δισκίο πυριτίου και αποτελείται από λεπτή μεμβράνη πυριτίου με μάζα αδράνειας από πυρίτιο και πιεζοηλεκτρικό υμένιο ZnO στη μία πλευρά της μεμβράνης. Οι φυσικές συχνότητες ταλάντωσης των μικρογεννητριών προσομοιώθηκαν, αλλά και προσδιορίστηκαν πειραματικά με διάφορες μεθόδους διέγερσης σε ιδιοκατασκευές που υλοποιήθηκαν στα πλαίσια της παρούσας εργασίας. Στη συνέχεια, πραγματοποιήθηκε ο ηλεκτρικός χαρακτηρισμός των μικρογεννητριών με σκοπό την αξιολόγηση της απόδοσής τους.	el
heal.abstract	This thesis presents the fabrication and characterization of Si-based microgenerators realized with conventional microelectromechanical (MEMS) processes and used for harvesting ambient mechanical energy from the environment. The purpose of energy harvesters is to be integrated into low power electronic circuits in order to render them energetically autonomous. During this thesis, two different types of microgenerators were fabricated and studied. The first type consists of a silicon cantilever, a silicon proof mass and a ZnO piezoelectric layer deposited along the cantilever’s length. The second type of microgenerators consists of a thin silicon membrane, a silicon proof mass and a ZnO piezoelectric layer on the top side of the membrane. The natural frequencies of the microgenerators were simulated as well as determined with the use of a custom-built setup employing various types of mechanical stimulation. Finally, the electrical characterization of the microgenerators was conducted in order to assess their performance.	en
heal.advisorName	Τσαμάκης, Δημήτρης	el
heal.committeeMemberName	Ξανθάκης, Ιωάννης	el
heal.committeeMemberName	Μακαρώνα, Ελένη	el
heal.committeeMemberName	Τσαμάκης, Δημήτρης	el
heal.academicPublisher	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Ηλεκτρολόγων Μηχανικών και Μηχανικών Υπολογιστών	el
heal.academicPublisherID	ntua
heal.numberOfPages	102 σ.	el
heal.fullTextAvailability	true