Λιθογραφία πυριτίου με laser

Μαθιουδάκης, Ιωάννης; Mathioudakis, Ioannis

dc.contributor.author	Μαθιουδάκης, Ιωάννης	el
dc.contributor.author	Mathioudakis, Ioannis	en
dc.date.accessioned	2017-03-20T07:45:58Z
dc.date.available	2017-03-20T07:45:58Z
dc.date.issued	2017-03-20
dc.identifier.uri	https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/44650
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.26240/heal.ntua.6740
dc.description	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο--Μεταπτυχιακή Εργασία. Διεπιστημονικό-Διατμηματικό Πρόγραμμα Μεταπτυχιακών Σπουδών (Δ.Π.Μ.Σ.) “Μικροσυστήματα και Νανοδιατάξεις”	el
dc.rights	Αναφορά Δημιουργού-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ελλάδα	*
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nd/3.0/gr/	*
dc.subject	Λιθογραφία	el
dc.subject	Πυρίτιο	el
dc.subject	Νανοτεχνολογία	el
dc.subject	Ρητίνη	el
dc.subject	Εγχάραξη	el
dc.subject	Laser	el
dc.subject	Silicon	el
dc.subject	Lithography	el
dc.subject	Ablation	el
dc.subject	SEM	el
dc.title	Λιθογραφία πυριτίου με laser	el
heal.type	masterThesis
heal.classification	Νανοτεχνολογίες	el
heal.classification	Photon Lithography	en
heal.classificationURI	http://data.seab.gr/concepts/3ca4503d5307366f048f8752a9beeac5704c661e
heal.language	el
heal.access	free
heal.recordProvider	ntua	el
heal.publicationDate	2008-11-11
heal.abstract	Η επιφανειακή ανάπτυξη δομών και ο λεπτομερής χειρισμός τους στα στερεά υλικά με τη χρήση παλμικού laser παρουσιάζε και παρουσιάζει, ακόμη, μεγάλο ενδιαφέρον. Από τα μέσα της προηγούμενης δεκαετίας, υπήρχε ραγδαία ανερχόμενο ενδιαφέρον για τη συγκεκριμένη τεχνολογία, η οποία ενισχύθηκε με τη παρουσία και την ανάπτυξη της τεχνολογίας της μικροηλεκτρονικής (και τώρα με την ανάπτυξη της νανοτεχνολογίας). Συγκεκριμένα, η δυνατότητα να δημιουργήσουμε με έμμεσο ή άμεσο τρόπο (λιθογραφία και εγχάραξη ή αποκόλληση – ablation) και να επεξεργαστούμε δομές και χαρακτηριστικά στοιχεία σε διαστάσεις μικρότερες του ενός μικρομέτρου (μm) σε διάφορα υλικά (όπως μέταλλα και ημιαγωγοί) έχει πολυάριθμες τεχνολογικές εφαρμογές. Στη συγκεκριμένη εργασία γίνεται παρουσίαση της εφαρμογής και των αποτελεσμάτων μίας γρήγορης, άμεσης και υψηλής διακριτικής ικανότητας μεθόδου λιθογραφίας (photon lithography) για την ανάπτυξη δομών στην επιφάνεια δοκιμίων υποστρώματος πυριτίου (Si), στα οποία έχει γίνει εναπόθεση φωτοευαίσθητης πολυμερούς ρητίνης στην επιφάνειά τους. Χρησιμοποιήσαμε δύο είδη χημικά ενισχυμένων, εποξικών, τύπου Novolac (νεολάκκα) αρνητικού τόνου ρητινών, επιλέγοντας από ένα σημείο και μετά τη μία από τις δύο λόγω καλύτερων αποτελεσμάτων. Τα πειράματα διεξήχθησαν με την τέταρτη αρμονική ενός Nd:YAG LASER ( λ = 266 nm, τ = 4 ns). Επίσης χρησιμοποιήθηκαν αρκετά οπτικά στοιχεία (φακοί, μάσκα, grating) και ένα μικρομηχανικό σύστημα κίνησης. Η διαδικασία εμφάνισης των δομών μέτα την έκθεση των δοκιμίων πραγματοποιήθηκαν σε συνθήκες καθαρού χώρου (clean room). Η ποιότητα των δομών εξετάστηκε βάσει της ενεργειακής πυκνότητας, των διαστάσεων του spot και των παραμέτρων της διαδικασίας εμφάνισής τους. Ο χαρακτηρισμός των δομών πραγματοποιήθηκε με τη χρήση ηλεκτρονικού μικροσκοπίου σάρωσης (Scanning Electron Microscope - SEM) και μικροσκοπίου ατομικών δυνάμεων – σαρωτικής ανίχνευσης (Atomic Force Microscope – AFM, Scanning Probe Microscope – SPM). Απο το χαρακτηρισμό αυτό μετρήθηκαν χαρακτηριστικά μεγέθη των δομών αυτών (ύψος και περιοδικότητα) και ελήφθησαν εικόνες προσομοίωσης και πραγματικές απεικονίσεις τους.	el
heal.advisorName	Ζεργιώτη, Ιωάννα	el
heal.committeeMemberName	Ζεργιώτη, Ιωάννα	el
heal.committeeMemberName	Ράπτης, Ιωάννης	el
heal.committeeMemberName	Τσουκαλάς, Δημήτριος	el
heal.academicPublisher	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών	el
heal.academicPublisherID	ntua
heal.numberOfPages	87 σ.	el
heal.fullTextAvailability	true