dc.contributor.author | Φούντα, Βαλέρια![]() |
el |
dc.contributor.author | Founta, Valeria![]() |
en |
dc.date.accessioned | 2017-09-25T11:49:47Z | |
dc.date.available | 2017-09-25T11:49:47Z | |
dc.date.issued | 2017-09-25 | |
dc.identifier.uri | https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/45694 | |
dc.identifier.uri | http://dx.doi.org/10.26240/heal.ntua.14363 | |
dc.rights | Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ελλάδα | * |
dc.rights.uri | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/gr/ | * |
dc.subject | Λεπτά υμένια | el |
dc.subject | Θερμική εξάχνωση | el |
dc.subject | Μαγνητικά υποβοηθούμενη καθοδική ιοντοβολή | el |
dc.subject | Φαινόμενο της σήραγγας | el |
dc.subject | Μετασχηματισμό φάσης | el |
dc.subject | Thin films | en |
dc.subject | Thermal evaporation | en |
dc.subject | Magnetron sputtering | en |
dc.subject | Quantum tunneling effect | en |
dc.subject | Phase change memories | en |
dc.title | Ανάπτυξη τριστρωματικού λεπτού υμενίου Al-Al2O3-Al για τη μελέτη του κβαντομηχανικού φαινομένου της σήραγγας | el |
heal.type | bachelorThesis | |
heal.classification | Ηλεκτρονικά υλικά | el |
heal.access | free | |
heal.recordProvider | ntua | el |
heal.publicationDate | 2017-07-18 | |
heal.abstract | Σκοπός της παρούσας διπλωματικής εργασίας είναι η μελέτη του κβαντομηχανικού φαινομένου της σήραγγας. Για την επίτευξη του στόχου αυτού, αναπτύχθηκαν δομές τριστρωματικών λεπτών υμενίων Al-Al2O3-Al σε υποστρώματα πυριτίου, με την συνδυαστική μέθοδο της θερμικής εξάχνωσης-θερμικής οξείδωσης και τη μέθοδο της μαγνητικά υποβοηθούμενης καθοδικής ιοντοβολής. Ιδιαίτερη βαρύτητα δόθηκε στον χαρακτηρισμό των υμενίων, όπου χρησιμοποιήθηκαν οι μέθοδοι του ηλεκτρονικού μικροσκοπίου σάρωσης, του ηλεκτρονικού μικροσκοπίου ηλεκτρονικής δέσμης και της περιθλασιμετρίας ακτίνων Χ. Οι μετρήσεις έδειξαν ότι η μέθοδος της μαγνητικά υποβοηθούμενης καθοδικής ιοντοβολής παράγει υμένια με ελεγχόμενο πάχος και με πιο ομοιογενή επιφάνεια σε σύγκριση με τη μέθοδο της θερμικής εξάχνωσης που πρέπει να συνδυαστεί με θερμική κατεργασία. Επιπλέον, με τη μέθοδο παλμικής διέγερσης με ρεύμα, που εφαρμόσθηκε στα υμένια, μελετήθηκε το φαινόμενο της σήραγγας, το οποίο έδωσε ενθαρρυντικά αποτελέσματα ώστε οι δομές αυτές να αναπτυχθούν και να χρησιμοποιηθούν μελλοντικά σε μη πτητικές μνήμες υπολογιστών, οι οποίες βασίζονται στο μετασχηματισμό φάσης των υλικών | el |
heal.abstract | The purpose of this diploma thesis is the study of quantum tunneling effect. Three- layered structures Al-Al2O3-Al were developed on silica substrates, with the combined method of thermal evaporation-thermal oxidation and the method of magnetron sputtering. Particular emphasis was also given to the characterization of thin films using Scanning Electron Microscopy, Transmission Electron Microscopy and X- ray Diffraction methods. The results indicate that the method of magnetron sputtering develops thin films with controlled thickness and more homogeneous in comparison with the method of thermal evaporation, which should be combined with thermal treatment. Moreover, with the method of pulse stimulation with current, which was applied to the films, the quantum tunneling effect was studied and provided promising results so as these structures will be developed and used in the future for non-volatile phase change memories. | en |
heal.advisorName | Χριστοφόρου, Ευάγγελος | el |
heal.committeeMemberName | Χριστοφόρου, Ευάγγελος | el |
heal.committeeMemberName | Φούρλαρης, Γεώργιος | el |
heal.committeeMemberName | Χαλικιά, Ηλιάννα | el |
heal.academicPublisher | Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Μηχανικών Μεταλλείων Μεταλλουργών | el |
heal.academicPublisherID | ntua | |
heal.numberOfPages | 106 σ. | |
heal.fullTextAvailability | true |
Οι παρακάτω άδειες σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο: