Ανάπτυξη τριστρωματικού λεπτού υμενίου Al-Al2O3-Al για τη μελέτη του κβαντομηχανικού φαινομένου της σήραγγας

Φούντα, Βαλέρια; Founta, Valeria

dc.contributor.author	Φούντα, Βαλέρια	el
dc.contributor.author	Founta, Valeria	en
dc.date.accessioned	2017-09-25T11:49:47Z
dc.date.available	2017-09-25T11:49:47Z
dc.date.issued	2017-09-25
dc.identifier.uri	https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/45694
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.26240/heal.ntua.14363
dc.rights	Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ελλάδα	*
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/gr/	*
dc.subject	Λεπτά υμένια	el
dc.subject	Θερμική εξάχνωση	el
dc.subject	Μαγνητικά υποβοηθούμενη καθοδική ιοντοβολή	el
dc.subject	Φαινόμενο της σήραγγας	el
dc.subject	Μετασχηματισμό φάσης	el
dc.subject	Thin films	en
dc.subject	Thermal evaporation	en
dc.subject	Magnetron sputtering	en
dc.subject	Quantum tunneling effect	en
dc.subject	Phase change memories	en
dc.title	Ανάπτυξη τριστρωματικού λεπτού υμενίου Al-Al2O3-Al για τη μελέτη του κβαντομηχανικού φαινομένου της σήραγγας	el
heal.type	bachelorThesis
heal.classification	Ηλεκτρονικά υλικά	el
heal.access	free
heal.recordProvider	ntua	el
heal.publicationDate	2017-07-18
heal.abstract	Σκοπός της παρούσας διπλωματικής εργασίας είναι η μελέτη του κβαντομηχανικού φαινομένου της σήραγγας. Για την επίτευξη του στόχου αυτού, αναπτύχθηκαν δομές τριστρωματικών λεπτών υμενίων Al-Al2O3-Al σε υποστρώματα πυριτίου, με την συνδυαστική μέθοδο της θερμικής εξάχνωσης-θερμικής οξείδωσης και τη μέθοδο της μαγνητικά υποβοηθούμενης καθοδικής ιοντοβολής. Ιδιαίτερη βαρύτητα δόθηκε στον χαρακτηρισμό των υμενίων, όπου χρησιμοποιήθηκαν οι μέθοδοι του ηλεκτρονικού μικροσκοπίου σάρωσης, του ηλεκτρονικού μικροσκοπίου ηλεκτρονικής δέσμης και της περιθλασιμετρίας ακτίνων Χ. Οι μετρήσεις έδειξαν ότι η μέθοδος της μαγνητικά υποβοηθούμενης καθοδικής ιοντοβολής παράγει υμένια με ελεγχόμενο πάχος και με πιο ομοιογενή επιφάνεια σε σύγκριση με τη μέθοδο της θερμικής εξάχνωσης που πρέπει να συνδυαστεί με θερμική κατεργασία. Επιπλέον, με τη μέθοδο παλμικής διέγερσης με ρεύμα, που εφαρμόσθηκε στα υμένια, μελετήθηκε το φαινόμενο της σήραγγας, το οποίο έδωσε ενθαρρυντικά αποτελέσματα ώστε οι δομές αυτές να αναπτυχθούν και να χρησιμοποιηθούν μελλοντικά σε μη πτητικές μνήμες υπολογιστών, οι οποίες βασίζονται στο μετασχηματισμό φάσης των υλικών	el
heal.abstract	The purpose of this diploma thesis is the study of quantum tunneling effect. Three- layered structures Al-Al2O3-Al were developed on silica substrates, with the combined method of thermal evaporation-thermal oxidation and the method of magnetron sputtering. Particular emphasis was also given to the characterization of thin films using Scanning Electron Microscopy, Transmission Electron Microscopy and X- ray Diffraction methods. The results indicate that the method of magnetron sputtering develops thin films with controlled thickness and more homogeneous in comparison with the method of thermal evaporation, which should be combined with thermal treatment. Moreover, with the method of pulse stimulation with current, which was applied to the films, the quantum tunneling effect was studied and provided promising results so as these structures will be developed and used in the future for non-volatile phase change memories.	en
heal.advisorName	Χριστοφόρου, Ευάγγελος	el
heal.committeeMemberName	Χριστοφόρου, Ευάγγελος	el
heal.committeeMemberName	Φούρλαρης, Γεώργιος	el
heal.committeeMemberName	Χαλικιά, Ηλιάννα	el
heal.academicPublisher	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Μηχανικών Μεταλλείων Μεταλλουργών	el
heal.academicPublisherID	ntua
heal.numberOfPages	106 σ.
heal.fullTextAvailability	true