Αυτοματοποίηση διαδικασίας χαρακτηρισμού αισθητήρων παραμόρφωσης βασισμένων σε νανοσωματίδια πλατίνας

Μούτουλας, Ευάγγελος; Moutoulas, Efangelos

dc.contributor.author	Μούτουλας, Ευάγγελος	el
dc.contributor.author	Moutoulas, Efangelos	en
dc.date.accessioned	2017-10-30T09:59:26Z
dc.date.available	2017-10-30T09:59:26Z
dc.date.issued	2017-10-30
dc.identifier.uri	https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/45839
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.26240/heal.ntua.14826
dc.rights	Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ελλάδα	*
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/gr/	*
dc.subject	Αισθητήρες	el
dc.subject	Νανοσωματίδια Pt	el
dc.subject	Αυτοματοποίηση	el
dc.subject	Μικροροϊκά Συστήματα	el
dc.subject	Ελαστικό υπόστρωμα	el
dc.subject	Strain sensors	en
dc.subject	Pt Nanoparticles	en
dc.subject	flexible substrate	en
dc.subject	Automation	en
dc.subject	Microfluidic	en
dc.title	Αυτοματοποίηση διαδικασίας χαρακτηρισμού αισθητήρων παραμόρφωσης βασισμένων σε νανοσωματίδια πλατίνας	el
heal.type	bachelorThesis
heal.classification	ΝΑΝΟΤΕΧΝΟΛΟΓΙΕΣ	el
heal.classificationURI	http://data.seab.gr/concepts/3ca4503d5307366f048f8752a9beeac5704c661e
heal.language	el
heal.access	free
heal.recordProvider	ntua	el
heal.publicationDate	2017-07-04
heal.abstract	Αισθητήρες παραμόρφωσης που βασίζονται στην μεταβολή της ηλεκτρικής αντίστασης ενός δικτύου νανοσωματιδίων πλατίνας (Pt) αναπτύχθηκαν πάνω σε ελαστικό υπόστρωμα από πολυϊμίδιο, με χρήση τεχνικών οπτικής λιθογραφίας και εναπόθεσης νανοσωματιδίων μέσω sputtering. Οι αισθητήρες παρουσίασαν συντελεστές ευαισθησίας έως και 140 (g-factor) λόγω της σημαντικής εξάρτησης της αγωγιμότητας του φιλμ από την απόσταση ανάμεσα στα νανοσωματίδια. Η μεταβολή της απόστασης αυτής οφείλεται στην παραμόρφωση του υποστρώματος και η χρήση πολυϊμιδίου για αυτό το σκοπό ακολουθεί την τάση της τεχνολογίας για ελαστικές ηλεκτρονικές συσκευές με μεγάλο εύρος παραμορφώσεων. Για την προστασία τους από εξωτερικούς παράγοντες πραγματοποιήθηκε εναπόθεση υμενίου Al2O3 στην επιφάνεια των νανοσωματιδίων με μέθοδο την τεχνική ALD (Atomic Layer Deposition) που έδειξε να συμβάλει στην αύξηση της αντίστασης του αισθητήρα και μείωση του g-factor. Πειράματα για την μελέτη της συμπεριφοράς του αισθητήρα ύστερα από την επίδραση του χρόνου και κόπωσης πραγματοποιήθηκαν, με την χρήση διάταξης που κατασκευάστηκε στο εργαστήριο. Παραμορφώση έως και 0.337% επιβλήθηκε στο υπόστρωμα χωρίς να υπάρξει καταστροφή του αισθητήρα και καταπονήθηκαν έως 1200 φορές με το ίδιο αποτέλεσμα. Για την κατασκευή της χρησιμοποιήθηκαν, βηματικός κινητήρας με το απαραίτητο κύκλωμα για την οδηγηγή του και μονάδα αυτομάτου ελέγχου η οποία προγαμματίστηκε κατάλληλα, ώστε η διαδικασία να πραγματοποιείται αυτόματα. Ο αισθητήρας παρουσίασε αποτελέσματα για την ανίχνευση ροής σε μικροροϊκά κανάλια πλάτους 2 mm, ύψους 100 μm και σφράγιση από πολυολεφίνη, για ροή νερού μεγαλύτερη από 100 μL/min. Τα κανάλια κατασκευάστηκαν με τεχνικές οπτικής λιθογραφίας.	el
heal.advisorName	Τσουκαλάς, Δημήτρης	el
heal.committeeMemberName	Ράπτης, Ιωάννης	el
heal.committeeMemberName	Κυρίτσης, Απόστολος	el
heal.academicPublisher	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών. Τομέας Φυσικής	el
heal.academicPublisherID	ntua
heal.numberOfPages	75 σ.	el
heal.fullTextAvailability	true