Διερεύνηση Διεργασιών Χημικής Απόθεσης από Ατμό με χρήση Υπολογιστικών Μοντέλων

Tσάκωνας, Χρήστος; Tsakonas, Christos

dc.contributor.author	Tσάκωνας, Χρήστος	el
dc.contributor.author	Tsakonas, Christos	el
dc.date.accessioned	2018-01-23T09:48:52Z
dc.date.available	2018-01-23T09:48:52Z
dc.date.issued	2018-01-23
dc.identifier.uri	https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/46254
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.26240/heal.ntua.7745
dc.description	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο--Μεταπτυχιακή Εργασία. Διεπιστημονικό-Διατμηματικό Πρόγραμμα Μεταπτυχιακών Σπουδών (Δ.Π.Μ.Σ.) “Υπολογιστική Μηχανική”	el
dc.rights	Default License
dc.subject	Υπολογιστική ρευστοδυναμική	el
dc.subject	Χημική Απόθεση	el
dc.subject	Βελτιστοποίηση	el
dc.subject	Συντελεστές Βαρύτητας	el
dc.subject	Πολυκριτηριακή ανάλυση	el
dc.subject	CVD	el
dc.subject	Computational mechanics	el
dc.subject	TOPSIS	el
dc.subject	GRA	el
dc.subject	Taguchi	el
dc.title	Διερεύνηση Διεργασιών Χημικής Απόθεσης από Ατμό με χρήση Υπολογιστικών Μοντέλων	el
heal.type	masterThesis
heal.classification	Μηχανική	el
heal.language	el
heal.access	free
heal.recordProvider	ntua	el
heal.publicationDate	2017-11-10
heal.abstract	Το αντικείμενο της μεταπτυχιακής εργασίας είναι η ανάπτυξη μιας μεθοδολογίας βελτιστοποίησης που συνδυάζει τη μέθοδο Taguchi με μεθόδους πολυκριτηριακής ανάλυσης ως εναλλακτικό τρόπο προσδιορισμού των βέλτιστων συνθηκών λειτουργίας σε διεργασίες χημικής απόθεσης από ατμό. Τα βήματα που ακολουθούνται είναι: α) ο καθορισμός των λειτουργικών παραμέτρων με τα αντίστοιχα επίπεδα καθώς και οι στόχοι βελτιστοποίησης, β) η διαμόρφωση και επίλυση διαφορετικών ‘‘επίλεκτων’’ σεναρίων μέσω ορθογώνιων πινάκων, γ) η μοντελοποίηση της διεργασίας μέσω του εμπορικού πακέτου υπολογιστικής ρευστοδυναμικής Phoenics για την εξαγωγή αριθμητικών αποτελεσμάτων, δ) η ανάλυση και ο προσδιορισμός των συντελεστών βαρύτητας μέσω της ιδέας της εντροπίας των επιδόσεων των εναλλακτικών σεναρίων, ε) η αξιολόγηση των αποτελεσμάτων των προσομοιώσεων με δύο μεθόδους: τη μέθοδο GRA (Grey Relational Analysis) που βασίζεται στη θεωρία των γκρι συστημάτων (Grey Systems Theory) και τη μέθοδο TOPSIS που βασίζεται στο υπολογισμό της ευκλείδειας απόστασης της εναλλακτικής επίδοσης που εξετάζεται, στ) ο καθορισμός των βέλτιστων επιπέδων για όλους τους παράγοντες που μεταβάλλονται και η ανάλυση διασποράς (ANOVA) για την εύρεση εκείνης της παραμέτρου που έχει τη μεγαλύτερη συνεισφορά στα αποτελέσματα και ζ) ο έλεγχος της ορθότητας των αποτελεσμάτων. Στη συγκεκριμένη εργασία, γίνεται πλήρης παραγοντική ανάλυση, η οποία περιλαμβάνει την εξέταση όλων των πιθανών συνδυασμών των λειτουργικών παραμέτρων. Πριν την εφαρμογή της συνδυαστικής μεθόδου βελτιστοποίησης προηγείται: α) η περιγραφή των βασικών στοιχείων της φιλοσοφίας και της μεθοδολογίας Taguchi, β) η περιγραφή των βασικών στοιχείων και του μεθοδολογικού πλαισίου της πολυκριτηριακής ανάλυσης και γ) η περιγραφή και ανάπτυξη των υφιστάμενων βασικών πολυκριτηριακών μεθόδων ανάλυσης που εφαρμόζονται στη διεργασία χημικής απόθεσης από ατμό. Στη συνέχεια, παρουσιάζονται τα αποτελέσματα βελτιστοποίησης τα οποία καταδεικνύουν ότι η μέθοδος GRA εντοπίζει το βέλτιστο συνδυασμό των λειτουργικών παραμέτρων, ενώ η μέθοδος TOPSIS αδυνατεί να τον εντοπίσει. Για την προσομοίωση της διεργασίας Χημικής Απόθεσης από Ατμό χρησιμοποιείται το εμπορικό πακέτο υπολογιστικής ρευστοδυναμικής Phoenics ενώ η ανάπτυξη των μεθόδων πολυκριτηριακής ανάλυσης γίνεται σε περιβάλλον MS Excel.	el
heal.advisorName	Ριζιώτης, Βασίλειος	el
heal.committeeMemberName	Φούντη, Μαρία	el
heal.committeeMemberName	Μπούρης, Δημήτριος	el
heal.academicPublisher	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Χημικών Μηχανικών	el
heal.academicPublisherID	ntua
heal.numberOfPages	136 σ.	el
heal.fullTextAvailability	true