HEAL DSpace

Εναλλακτική υλοποίηση της ανάλυσης κυρίων συνιστωσών για τη διερεύνηση μη γραμμικής συμπεριφοράς της χημικής απόθεσης από ατμό

Αποθετήριο DSpace/Manakin

Εμφάνιση απλής εγγραφής

dc.contributor.author Μπαΐλη, Κυριακή Βαλεντίνα el
dc.contributor.author Baili, Kyriaki Valentina en
dc.date.accessioned 2020-10-16T09:51:05Z
dc.date.available 2020-10-16T09:51:05Z
dc.identifier.uri https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/51475
dc.identifier.uri http://dx.doi.org/10.26240/heal.ntua.19173
dc.rights Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ελλάδα *
dc.rights.uri http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/gr/ *
dc.subject Χημική απόθεση απο ατμό el
dc.subject Chemical vapor deposition en
dc.subject Ανάλυση κυρίων συνιστωσών el
dc.subject Principal component analysis en
dc.subject Τεχνητά νευρωνικά δίκτυα el
dc.subject Artificial neural networks en
dc.subject Μοντέλο μειωμένης τάξης el
dc.subject Reduced order model en
dc.subject Μηχανισμός ροής el
dc.subject Flow mechanism en
dc.title Εναλλακτική υλοποίηση της ανάλυσης κυρίων συνιστωσών για τη διερεύνηση μη γραμμικής συμπεριφοράς της χημικής απόθεσης από ατμό el
dc.title Alternative implementation of principal component analysis in the investigation of the nonlinear behavior of a chemical vapor deposition process en
heal.type bachelorThesis
heal.classification Μηχανική ρευστών el
heal.classification Fluid dynamics en
heal.language el
heal.access free
heal.recordProvider ntua el
heal.publicationDate 2019-02-26
heal.abstract Στην παρούσα εργασία μελετάται η δυναμική συμπεριφορά ενός αντιδραστήρα χημικής απόθεσης από ατμό (Chemical Vapor Deposition, CVD). Για τις δεδομένες συνθήκες λειτουργίας του αντιδραστήρα, εμφανίζονται στο υπάρχον σύστημα δύο αντιμαχόμενοι μηχανισμοί ροής, ο μηχανισμός της φυσικής κυκλοφορίας λόγω άνωσης και αυτός της εξαναγκασμένης ροής. Το σύστημα χαρακτηρίζεται συνεπώς από την ύπαρξη πολλαπλότητας στις καταστάσεις που ισορροπεί, για παροχές εισόδου που κυμαίνονται από 2,3•10-5 Kg/s έως και 5,0•10-5 Kg/s. Οι μη γραμμικές εξισώσεις που εκφράζουν τα φαινόμενα μεταφοράς και τις κινητικές των αντιδράσεων που λαμβάνουν χώρα στον αντιδραστήρα επιλύονται με χρήση του κώδικα υπολογιστικής ρευστοδυναμικής ANSYS Fluent. Το μοντέλο που προκύπτει χαρακτηρίζεται από μεγάλη πολυπλοκότητα και η επίλυση του αποτελεί χρονοβόρα διαδικασία λόγω του μεγάλου αριθμού των εξισώσεων που απαιτούνται για την περιγραφή του. Κύρια ιδέα της εργασίας είναι η ανάπτυξη ενός μοντέλου μειωμένης τάξης (Reduced Order Model, ROM), μέσω μιας εναλλακτικής υλοποίησης της μεθόδου ανάλυσης κυρίων συνιστωσών (Principal Component Analysis, PCA) και εν συνεχεία μέσω της εκπαίδευσης τεχνητών νευρωνικών δικτύων (Artificial Neural Networks, ANN), με στόχο την περιγραφή της δυναμικής συμπεριφοράς του πλήρους συστήματος χρησιμοποιώντας δεδομένα από μη-μόνιμες καταστάσεις. Για τον σκοπό αυτό, λήφθηκαν δεδομένα της δυναμικής απόκρισης των πεδίων ροής και θερμοκρασίας του λεπτομερούς μοντέλου, κατά την χρονική του εξέλιξη (τροχιά) από διάφορες αρχικές καταστάσεις με τιμή μαζικής παροχής εντός του εύρους 1,5•10-5 kg/s – 6,5•10-5 kg/s, στο οποίο εμφανίζεται η πολλαπλότητα των λύσεων, προς την τελική μόνιμη κατάσταση με τιμή μαζικής παροχής 3•10-5 kg/s. Έπειτα, πραγματοποιήθηκε ανάλυση ως προς τον αριθμό των αρχικών καταστάσεων που χρησιμοποιούνται και του χρονικού διαστήματος στο οποίο αφήνονται να εξελιχθούν, χωρίς να φτάνουν σε μόνιμη κατάσταση, έτσι ώστε να προσεγγίζεται με ικανοποιητική ακρίβεια η προσομοίωση του αντιδραστήρα. Το καλύτερο μοντέλο μειωμένης τάξης επιλέχθηκε με γνώμονα την υπολογιστική ακρίβεια σε συνδυασμό με τον απαιτούμενο όγκο δεδομένων για τον σχεδιασμό του. Το μοντέλο που επιλέχθηκε είναι αυτό που χρησιμοποιεί την ορθοκανονική βάση η οποία αποτελείται από 4 ιδιοσυναρτήσεις σε συνδυασμό με ένα νευρωνικό δίκτυο που αποτελείται από 10 κρυφούς νευρώνες. Η βάση σχεδιάστηκε με χρήση 23 βηματικών επιβολών, ενώ το νευρωνικό δίκτυο που χρησιμοποιείται εκπαιδεύτηκε με 22 βηματικές επιβολές. Οι αρχικές καταστάσεις επιλέχθηκαν έτσι ώστε να καλύπτουν όλο το φάσμα της πολλαπλότητας των λύσεων, ενώ το χρονικό διάστημα στο οποίο αφήνεται να εξελιχθεί κάθε αρχική κατάσταση, είναι τέτοιο ώστε να επιτευχθεί μια συγκεκριμένη τιμή σφάλματος, 10-3, μεταξύ δύο διαδοχικών διανυσμάτων κατάστασης κατά την τροχιά του συστήματος προς την τελική κατάσταση. Το χρονικό αυτό διάστημα αντιπροσωπεύεται με τον αριθμό snapshots από τον οποίο αποτελείται κάθε επιβολή και έχει ελάχιστη επιτρεπτή τιμή τα 10 snapshots. Με την κατασκευή του μοντέλου μειωμένης τάξης, επιτυγχάνεται η προσέγγιση της δυναμικής του φυσικού συστήματος χρησιμοποιώντας πολύ μικρότερο αριθμό δεδομένων. Το μοντέλο που σχεδιάστηκε σε αυτήν την εργασία, έχει την δυνατότητα να προσεγγίζει με ικανοποιητική ακρίβεια, μόνιμες καταστάσεις του πλήρους συστήματος, ενώ το ίδιο έχει κατασκευαστεί από δεδομένα μη μόνιμων καταστάσεων. Το υπολογιστικό όφελος από την κατασκευή ενός τέτοιου είδους μοντέλου είναι σημαντικό, καθώς ο όγκος των δεδομένων που απαιτούνται για την ανάπτυξη του μοντέλου και η ταχύτητα επίλυσης του μειώνονται κατά πολύ. el
heal.abstract Τhis thesis is about the study of the dynamic behavior of a chemical vapor deposition reactor (CVD). For given operating conditions of the reactor, two competing mechanisms appear, the free convection mechanism due to buoyancy and the forced convection. The system is nonlinear and is characterized by a multiplicity of steady states for inlet mass flow rates between 2.3•10-5 kg/s and 5.0•10-5 kg/s, due to the coexistence of the competing mechanisms. The nonlinear equations describing the phenomena that occur in the reactor are solved using the ANSYS Fluent Computational Fluid Dynamics (CFD) code. Due to the large number of equations, these systems are characterized by great complexity and their solution is a time consuming process. The aim of the thesis is the construction of a Reduced Order Model (ROM), by using an alternative implementation of the Principal Component Analysis (PCA) method combined with properly trained Artificial Neural Networks (ANN), to describe the dynamic behavior of the complete system by using solely data from non-steady states. For this purpose, data of the dynamic response of the flow, temperature and pressure fields were obtained during its time evolution (trajectory) from various initial states with a mass flow rate within the range of 1.5•10-5 kg/s - 6.5•10-5 kg/s, in which the multiplicity of solutions is observed, to the final steady state with a mass flow rate of 3•10-5 kg/s. Then, an analysis was carried out regarding the number of initial states used and the time allowed to evolve without reaching the final steady state, so that the accuracy of simulation is satisfactory. The choice of the best model was based on the quality of the approximation and the size of the required data for its design. The reduced order model that was chosen includes a PCA basis with four eigenvectors combined with a neural network containing ten hidden layers. The design of the PCA basis uses 23 step changes, while the training of the neural network uses 26. The initial conditions were selected in order to describe the entire range of multiplicity, while the transients are allowed to evolve until an error tolerance (10-3) is reached. The error is calculated between two successive transient states. This time interval is represented by the number of snapshots of each step change; the number of snapshots was kept higher than 10. By constructing the reduced order model, the physical system dynamic analysis required a highly reduced number of data. The model designed in this thesis, is capable of approximating with sufficient accuracy, steady states of the full model, while it was built from data of non-steady states. The computational advantage of constructing such a reduced order model is significant, since the number of the required data and the computational cost are greatly reduced. en
heal.advisorName Μπουντουβής, Ανδρέας el
heal.advisorName Boudouvis, Andreas en
heal.committeeMemberName Χαριτίδης, Κωνσταντίνος el
heal.committeeMemberName Charitidis, Constantinos en
heal.committeeMemberName Κυρανούδης, Χρήστος el
heal.committeeMemberName Kiranoudis, Chris en
heal.academicPublisher Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Χημικών Μηχανικών. Τομέας Ανάλυσης, Σχεδιασμού και Ανάπτυξης Διεργασιών και Συστημάτων (ΙΙ) el
heal.academicPublisherID ntua
heal.numberOfPages 87 σ. el
heal.fullTextAvailability false


Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Οι παρακάτω άδειες σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο:

Αυτό το τεκμήριο εμφανίζεται στην ακόλουθη συλλογή(ές)

Εμφάνιση απλής εγγραφής

Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ελλάδα Εκτός από όπου ορίζεται κάτι διαφορετικό, αυτή η άδεια περιγράφεται ως Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ελλάδα