Ανάπτυξη καινοτόμων νανολιθογραφημένων επιφανειών για βιομιμιτικές εφαρμογές

Δημογεροντάκη, Νεφέλη; Dimogerontaki, Nefeli

dc.contributor.author	Δημογεροντάκη, Νεφέλη	el
dc.contributor.author	Dimogerontaki, Nefeli	en
dc.date.accessioned	2022-07-20T08:10:15Z
dc.date.available	2022-07-20T08:10:15Z
dc.identifier.uri	https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/55434
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.26240/heal.ntua.23132
dc.description	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο--Μεταπτυχιακή Εργασία. Διεπιστημονικό-Διατμηματικό Πρόγραμμα Μεταπτυχιακών Σπουδών (Δ.Π.Μ.Σ.) “Φυσική και Τεχνολογικές Εφαρμογές”	el
dc.rights	Default License
dc.subject	Νανοτεχνολογία,	el
dc.subject	Χημική εγχάραξη υποβοηθούμενη από μέταλλο	el
dc.subject	Νανοεκτυπωτική λιθογραφία	el
dc.subject	Νανοκατασκευαστική	el
dc.title	Ανάπτυξη καινοτόμων νανολιθογραφημένων επιφανειών για βιομιμιτικές εφαρμογές	el
dc.title	Development of novel nano-structured surfaces for biomimetic application	en
heal.type	masterThesis
heal.classification	Νανοτεχνολογία	el
heal.classification	Φυσική και τεχνολογικές εφαρμογές	el
heal.language	el
heal.access	free
heal.recordProvider	ntua	el
heal.publicationDate	2022-02-02
heal.abstract	Η κατασκευή δομών στην νανοκλίμακα είναι σημαντική σε πολλούς τομείς της τεχνολογίας. Για τον λόγο αυτό, τις τελευταίες δεκαετίες, η ανάπτυξη μίκρο/νάνο δομών έχει προσελκύσει μεγάλο ερευνητικό ενδιαφέρον. Τέτοιου τύπου δομές βρίσκουν εφαρμογή σε τομείς όπως των ηλεκτρονικών, της φωτονικής, της μετατροπής και αποθήκευσης ενέργειας, της ανάπτυξης βιοαισθητήρων και βιομιμητικών επιφανειών και άλλους ενώ το πεδίο αυτό διευρύνεται και εξελίσσεται συνεχώς. Σε αυτό το πλαίσιο η ανάπτυξη και η βελτιστοποίηση αποδοτικών και χαμηλού κόστους μεθόδων κατασκευής νανοδομημένων επιφανειών είναι σημαντική. Μια από τις πιο αποδοτικές μεθόδους κατασκευής νανοδομών κατάλληλη και για παραγωγή μεγάλης κλίμακας είναι η νανοεκτυπωτική λιθογραφία (Nanoimprint lithography - NIL). Στην παρούσα διπλωματική μελετάται η ανάπτυξη μιας μεθόδου για την κατασκευή νανοδομών πυριτίου με σκοπό τη δημιουργία μήτρας για νανοεκτυπωτική λιθογραφία. Συνήθως οι μήτρες πυριτίου που χρησιμοποιούνται στην νανοεκτυπωτική λιθογραφία κατασκευάζονται μέσω άλλων μεθόδων όπως η φωτολιθογραφία ή η λιθογραφία δέσμης ηλεκτρονίων και η ξηρή εγχάραξη οι οποίες αυξάνουν το κόστος και περιπλέκουν τη διαδικασία. Η μέθοδος για την κατασκευή μήτρας που μελετάται εδώ περιλαμβάνει τον συνδυασμό της νανοεκτυπωτικής λιθογραφίας για τη δημιουργία του μοτίβου και μια μέθοδο χημικής εγχάραξης του πυριτίου (Χημική εγχάραξη υποβοηθούμενη από μέταλλο) για την μεταφορά του μοτίβου στο πυρίτιο. Και οι δύο αυτές μέθοδοι είναι απλές, χαμηλού κόστους και κατάλληλες για μεγάλες επιφάνειες. Στα πλαίσια αυτής της προσπάθειας μελετήθηκε η δημιουργία νανοδομών με την θερμική νανοεκτυπωτική λιθογραφία και η δυνατότητα αποτύπωσης δομών χωρίς υπολειπόμενο στρώμα (Zero residual layer). Η δημιουργία δομών χωρίς υπολειπόμενο στρώμα είναι επιθυμητή στην νανοεκτυπωτική λιθογραφία καθώς μπορεί να απλοποιήσει σημαντικά την λιθογραφική διαδικασία για μεταφορά δομών στο πυρίτιο. Επιπρόσθετα, διερευνήθηκαν τα όρια και οι δυνατότητες της χημικής εγχάραξης υποβοηθούμενης από μέταλλο (Metal assisted chemical etching – MACE) στη μεταφορά μίκρο ή/και νάνο δομών στο πυρίτιο με την επιθυμητή ακρίβεια και ομοιομορφία που απαιτείται σε μια μήτρα νανοεκτυπωτικής λιθογραφίας. Η διπλωματική εργασία χωρίζεται σε δύο μέρη το θεωρητικό και το πειραματικό. Το θεωρητικό μέρος περιλαμβάνει μια εισαγωγή στην νανοτεχνολογία και την νανοκατασκευαστική καθώς και μια βιβλιογραφική επισκόπηση των βασικών αρχών μεθόδων της νανοεκτυπωτικής λιθογραφίας (NIL) και της χημικής εγχάραξης υποβοηθούμενης από μέταλλο (MACE). Στο πειραματικό μέρος παρουσιάζονται οι μέθοδοι και τα αποτελέσματα των πειραμάτων που διεξάχθηκαν κατά τη διάρκεια της διπλωματικής. Τέλος, παρατίθενται τα συμπεράσματα της μελέτης, οι προοπτικές και οι δυνατότητες για περεταίρω έρευνα.	el
heal.advisorName	Κεχαγιάς, Νίκος	el
heal.committeeMemberName	Κεχαγιάς, Νίκος	el
heal.committeeMemberName	Γιαννόπαπας, Βασίλης	el
heal.committeeMemberName	Πατσαλάς, Παναγιώτης	el
heal.academicPublisher	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών	el
heal.academicPublisherID	ntua
heal.numberOfPages	69 σ.	el
heal.fullTextAvailability	false