Κατασκευή συσκευής Spin Coating για Λιθογραφία

Κοντόπουλος, Στέφανος; Kontopoulos, Stefanos

dc.contributor.author	Κοντόπουλος, Στέφανος	el
dc.contributor.author	Kontopoulos, Stefanos	en
dc.date.accessioned	2023-01-19T09:44:42Z
dc.date.available	2023-01-19T09:44:42Z
dc.identifier.uri	https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/56766
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.26240/heal.ntua.24464
dc.rights	Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ελλάδα	*
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/gr/	*
dc.subject	Επίστρωση περιστροφής	el
dc.subject	Οπτική λιθογραφία	el
dc.subject	Μικροελεγκτής	el
dc.subject	Φωτοευαίσθητο πολυμερές	el
dc.subject	Λεπτά υμένια	el
dc.subject	Spin coating lithography	en
dc.subject	Photosensitive polymer	en
dc.subject	Optical lithography	en
dc.subject	Microcontroller	en
dc.subject	Thin films	en
dc.title	Κατασκευή συσκευής Spin Coating για Λιθογραφία	el
heal.type	bachelorThesis
heal.classification	Ηλεκτρονική	el
heal.language	el
heal.access	free
heal.recordProvider	ntua	el
heal.publicationDate	2022-10-07
heal.abstract	Η παρούσα Διπλωματική Εργασία πραγματεύεται την ανάπτυξη μια συσκευής για τη δημιουργία λεπτών στρωμάτων πολυμερούς υλικού μέσω της τεχνικής: επίστρωση μέσω περιστροφής. Αρχικά, γίνεται μια ανασκόπηση της οπτικής λιθογραφίας που αποτελεί εφαρμογή αυτής της συσκευής. ΄Ετσι γίνεται σαφής η χρησιμότητα της και στη συνέχεια αναλύεται η αρχή λειτουργίας της. ΄Επειτα, αφού κατασκευασθεί και παρουσιαστεί η διάταξη, ακολουθεί το πειραματικό μέρος όπου παρουσιάζεται στην πράξη η αποτελεσματικότητα της στη λιθογραφία. Αυτό περιλαμβάνει, πέρα από τη δημιουργία λεπτού στρώματος πολυμερούς ρητίνης πάνω σε δισκίο πυριτίου, την αποτύπωση μιας συστοιχίας πυκνωτή μέσω της έκθεσης σε υπεριώδη ακτινοβολία. Τέλος, τα αποτελέσματα του πειράματος κρίθηκαν αρκετά ικανοποιητικά, καθώς αποτυπώθηκε πλήρως το ζητούμενο κύκλωμα, λαμβάνοντας υπόψιν και τις συνθήκες στις οποίες πραγματοποιήθηκε.	el
heal.abstract	This Diploma Thesis deals with the development of a device for creating thin layers of polymer material through the spin coating technique. First, an optical lithography application of this device is reviewed. Thus, its usefulness becomes clear and then its operating principle is analysed. Then, after the device is manufactured and presented, the experimental part follows where its effectiveness in lithography is demonstrated in practice. This involves, in addition to creating a thin layer of polymer resin on a silicon wafer, imprinting a capacitor array through UV exposure. Finally, the results of the experiment were deemed quite satisfactory, as the requested circuit was fully printed, taking into account the conditions in which it was carried out.	en
heal.advisorName	Χριστοφόρου, Εύαγγελος	el
heal.committeeMemberName	Πολιτόπουλος, Κωνσταντίνος	el
heal.committeeMemberName	Γκόνος, Ιωάννης	el
heal.academicPublisher	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Ηλεκτρολόγων Μηχανικών και Μηχανικών Υπολογιστών. Τομέας Επικοινωνιών, Ηλεκτρονικής και Συστημάτων Πληροφορικής. Εργαστήριο Μικροηλεκτρονικής και Ηλεκτρονικών Αισθητήρων	el
heal.academicPublisherID	ntua
heal.numberOfPages	66 σ.	el
heal.fullTextAvailability	false