Κατασκευή Μικροηλεκτρονικών και Οπτοηλεκτρονικών διατάξεων αξιοποιώντας τη τεχνολογία ανάπτυξης νανοδομών Οξειδίου του Ψευδαργύρου (ZnO)

Χουχούμη, Νικολέτα; Chouchoumi, Nikoleta

dc.contributor.author	Χουχούμη, Νικολέτα	el
dc.contributor.author	Chouchoumi, Nikoleta	en
dc.date.accessioned	2024-05-27T09:04:20Z
dc.date.available	2024-05-27T09:04:20Z
dc.identifier.uri	https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/59483
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.26240/heal.ntua.27179
dc.description	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο--Μεταπτυχιακή Εργασία. Διεπιστημονικό-Διατμηματικό Πρόγραμμα Μεταπτυχιακών Σπουδών (Δ.Π.Μ.Σ.) “Επιστήμη και Τεχνολογία Υλικών”
dc.rights	Αναφορά Δημιουργού - Παρόμοια Διανομή 3.0 Ελλάδα	*
dc.rights	Αναφορά Δημιουργού - Παρόμοια Διανομή 3.0 Ελλάδα	*
dc.rights	Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ελλάδα	*
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/gr/	*
dc.subject	Μικρό - πυκνωτές στερεάς κατάστασης MIS/MIM	el
dc.subject	Υδροθερμική Ανάπτυξη	el
dc.subject	Νανοδομές ΖnO	el
dc.subject	Πορώδες Πυρίτιο	el
dc.subject	ZnO nanostructures	en
dc.subject	Solid State Micro - Capacitors MIM/MIS type	en
dc.subject	Hydrothermal Growth	en
dc.subject	Porous Silicon	en
dc.title	Κατασκευή Μικροηλεκτρονικών και Οπτοηλεκτρονικών διατάξεων αξιοποιώντας τη τεχνολογία ανάπτυξης νανοδομών Οξειδίου του Ψευδαργύρου (ZnO)	el
dc.title	Fabrication of microelectronic and optoelectronic devices utilizing the technology of Zinc Oxide nanostructures growth	en
heal.type	masterThesis
heal.generalDescription	Η παρούσα μεταπτυχιακή διατριβή εκπονήθηκε στο Ινστιτούτο Νανοεπιστήμης και Νανοτεχνολογίας (ΙΝΝ) του Εθνικού Κέντρου Έρευνας και Φυσικών Επιστημών (ΕΚΕΦΕ) «Δημόκριτος».	el
heal.classification	Μικροηλεκτρονική	el
heal.classification	Νανοτεχνολογία	el
heal.classification	Φυσική Στερεάς Κατάστασης	el
heal.classification	Microelectronics	en
heal.classification	Solid State Physics	en
heal.classification	Nanotechnology	en
heal.language	el
heal.access	free
heal.recordProvider	ntua	el
heal.publicationDate	2023-10-09
heal.abstract	Η σημερινή ταχέως αναπτυσσόμενη τεχνολογικά κοινωνία, είναι άρρηκτα συνδεδεμένη με τη συλλογή, αποθήκευση και ευρύτερη εκμετάλλευση των ποικίλων μορφών ενέργειας. Η αποθήκευση της ενέργειας είναι απαραίτητη για τη τροφοδοσία και το τηλεχειρισμό των ηλε-κτρονικών συσκευών, όπως οι αυτόνομοι αισθητήρες και τα φορητά ηλεκτρονικά. Με σκοπό τη συμβολή στην έρευνα ανάπτυξης και βελτιστοποίησης συσκευών αποθήκευσης ενέργειας αναπτύσσονται, στη παρούσα μεταπτυχιακή διατριβή, τρισδιάστατοι μικρό – πυκνωτές στε-ρεάς κατάστασης (SSMCs), τύπου MIS/MIM αξιοποιώντας δύο βασικούς τομείς, της Νανοτε-χνολογίας και της Μικροηλεκτρονικής. Επιπλέον, κατασκευάζονται οπτοηλεκτρονικές διατά-ξεις, τύπου εικονοστοιχείων (pixel), με σκοπό την εκπομπή λευκού φωτός. Σε αμφότερες ε-φαρμογές αξιοποιείται η τεχνολογία ανάπτυξης του οξειδίου του Ψευδαργύρου (ZnO). Το ZnO πέραν της συμβατότητας του με τη τεχνολογία πυριτίου (ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, ICs), μπορεί να αναπτυχθεί σε πληθώρα υποστρωμάτων, λόγου χάρη εύκαμπτα ή πολυμερικά. Το ZnO είναι ημιαγωγός ευρέως ενεργειακού χάσματος και αρχικά μελετήθηκε για τις πιεζοηλε-κτρικές και οπτικές του ιδιότητες. Στη παρούσα εργασία, εκμεταλλευόμαστε τη μορφολογία των νανοδομών του ZnO, για να πετύχουμε τις επιθυμητές βελτιστοποιήσεις στις μικροηλεκτρονικές και οπτοηλεκτρονικές εφαρμογές με τις οποίες ασχολούμαστε. Η υδροθερμική μέθοδος επιλέγεται ως οικονομική, χαμηλών θερμοκρασιών και περιβαλλοντικά φιλική τεχνική ανάπτυξης νανοδομών ZnO. Ειδι-κότερα, στο Κεφάλαιο 4 παρουσιάζονται τα πειραματικά αποτελέσματα ανάπτυξης των νανο-δομών ZnO, εξετάζοντας τη μεταβολή ορισμένων πειραματικών συνθηκών και το πως αυτοί επιδρούν στη δομή και τη μορφολογία του. Ο χαρακτηρισμός των νανοδομών πραγματοποιή-θηκε με τη χρήση του ηλεκτρονικού μικροσκοπίου σάρωσης (SEM). Στα κεφάλαια 5 και 6 αξιοποιούνται τα πορίσματα του Κεφαλαίου 4, ώστε να κατασκευαστούν οι SSMCs και τα εικονοστοιχεία, αντίστοιχα. Οι SSMCs χαρακτηρίζονται ηλεκτρικά από μετρήσεις χωρητικό-τητας και ρευμάτων διαρροής και δομικά με τη χρήση του SEM. Τα εικονοστοιχεία χαρακτη-ρίζονται από μετρήσεις φωτοφωταύγειας (PL).	el
heal.abstract	Today’s rapidly developing technological environment, is inextricably linked to the har-vesting, storage and exploitation of various forms of energy. Autonomous sensors, portable and wearable electronics are for instance such devices that require energy storage systems, in order to utilize energy harvesting sources for their power supply needs. In this master thesis, three dimensional solid – state micro – capacitors (SSMCs), specifically MIS/MIM type, were fabri-cated by utilizing to main sectors, Nanotechnology and Microelectronics, in order to contribute to the research and optimization of energy storage devices. Furthermore, optoelectronic devices that can emit white light were fabricated. In Both applications the technology of Zinc Oxide (ZnO) nanostructures growth was utilized. ZnO is an important technological material, due to its compatibility with silicon technology (integrated circuits, ICs). In addition, ZnO can grow on various substrates, which are flexible or polymeric. ZnO is a semiconductor with a wide energy band gap and was first studied for its piezoelectric properties. In this work, we exploit the morphology of ZnO nanostructures to achieve the desired enhancement in microelectronic and optoelectronic devices. The hydrothermal method was chosen as an economic, low – temperature and environmentally friendly technique for the growth of ZnO nanostructures. In particular, in Chapter 4 the experimental results of ZnO nanostructures are presented, while examining the variation of certain experimental parameters and how they affect the structure and morphology of ZnO. The nanostructures characterization performed using scanning electron microscopy (SEM). Chapters 5 and 6, leverage the Chapter’s 4 results to fabricate SSMCs and pixels. SSMCs were characterized electrically by capacitance and leakage current measurements and structurally by SEM. Optoelectronic devices were char-acterized by photoluminescence (PL) measurements.	en
heal.advisorName	Χριστοφόρου, Ευάγγελος	el
heal.advisorName	Hristoforou, Evangelos	en
heal.committeeMemberName	Χατζηθεοδωρίδης, Ηλίας	el
heal.committeeMemberName	Ζουμπουλάκης, Λουκάς	el
heal.academicPublisher	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Ηλεκτρολόγων Μηχανικών και Μηχανικών Υπολογιστών. Τομέας Συστημάτων Μετάδοσης Πληροφορίας και Τεχνολογίας Υλικών	el
heal.academicPublisherID	ntua
heal.numberOfPages	131 σ.	el
heal.fullTextAvailability	false