Εμφάνιση απλής εγγραφής

dc.contributor.author	Τσακουμάκη, Μαρία	el
dc.contributor.author	Tsakoumaki, Maria	en
dc.date.accessioned	2024-06-06T10:41:27Z
dc.date.available	2024-06-06T10:41:27Z
dc.identifier.uri	https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/59660
dc.identifier.uri	http://dx.doi.org/10.26240/heal.ntua.27356
dc.description	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο--Μεταπτυχιακή Εργασία. Διεπιστημονικό-Διατμηματικό Πρόγραμμα Μεταπτυχιακών Σπουδών (Δ.Π.Μ.Σ.) “Υπολογιστική Μηχανική”	el
dc.rights	Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ελλάδα	*
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/gr/	*
dc.subject	Ροή	el
dc.subject	Πλάσμα	el
dc.subject	Αντιδραστήρας	el
dc.subject	Χημική απόθεση	el
dc.subject	Σιλάνιο	el
dc.title	Προσομοίωση ροής SiH4 σε αντιδραστήρα πλάσματος χημικής απόθεσης ατμών	el
heal.type	masterThesis
heal.secondaryTitle	Plasma CVD reactor	en
heal.classification	Υπολογιστική μηχανική	el
heal.classification	Μηχανική ρευστών	el
heal.language	el
heal.access	free
heal.recordProvider	ntua	el
heal.publicationDate	2023-11-24
heal.abstract	Σκοπός της μεταπτυχιακής αυτής εργασίας είναι η προσομοίωση ενός αντιδραστήρα εναπόθεσης χημικών ατμών πλάσματος (PECVD) με ψυχρό τοίχωμα. Η διεργασία της χημικής απόθεσης από ατμό, αποτελεί μια εξελιγμένη τεχνική σύνθεσης υλικών που χρησιμοποιείται σε ένα ευρύ φάσμα βιομηχανιών, από την κατασκευή ημιαγωγών έως την παραγωγή προηγμένων επικαλύψεων και νανοϋλικών, με ιδιαίτερη πολυπλοκότητα. Αυτή η εργασία προσδοκά να διερευνήσει τις διαδικασίες PECVD με στόχο την κατανόησή τους, την ενίσχυση της απόδοσης και της ποιότητας των παραγόμενων υλικών. Ειδικότερα, γίνεται μια μελέτη περίπτωσης της παραγωγής πολυκρυσταλλικής σιλικόνης σε θερμαινόμενο υπόστρωμα, χρησιμοποιώντας ένα αέριο μίγμα από N2 και SiH4. Για την προσομοίωση, χρησιμοποιείται το λογισμικό Phoenics, με τη βοήθεια του οποίου δημιουργείται το χωρίο του αντιδραστήρα. Οι εξισώσεις διατήρησης της μάζας, της ορμής, της ενέργειας και των συστατικών του αερίου μίγματος διακριτοποιούνται με τη μέθοδο των πεπερασμένων όγκων ελέγχου και επιλύονται σε ένα διδιάστατο καρτεσιανό πλέγμα σε συνθήκες μόνιμης κατάστασης και στρωτής ροής. Το μοντέλο μεταφοράς λαμβάνει υπόψη την εξάρτηση των φυσικών ιδιοτήτων από τη θερμοκρασία, την πίεση και τη σύσταση του αερίου μίγματος, την ακτινοβολία, την πολυσυστατική διάχυση και τη θερμική διάχυση. Τα απαιτούμενα δεδομένα χημικής κινητικής λαμβάνονται από τη βιβλιογραφία. Αναλύονται η ανεξαρτησία του πλέγματος και παρουσιάζονται οι κατανομές των θερμοκρασίας, πίεσης, ταχύτητας, και κλασμάτων μάζας των αντιδραστηρίων και των προϊόντων των χημικών αντιδράσεων που επηρεάζουν τη διαδικασία. Τέλος, πραγματοποιείται παραμετρική μελέτη ως προς την ταχύτητα εισόδου του ρευστού και τη θερμοκρασία του υποστρώματος που επηρεάζουν την διαδικασία εναπόθεσης.	el
heal.advisorName	Μαρκάτος, Νικόλαος	el
heal.committeeMemberName	Ριζιώτης, Βασίλειος	el
heal.committeeMemberName	Μπούρης, Δημήτριος	el
heal.committeeMemberName	Μαρκάτος, Νικόλαος	el
heal.academicPublisher	Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο. Σχολή Χημικών Μηχανικών	el
heal.academicPublisherID	ntua
heal.numberOfPages	71 σ.	el
heal.fullTextAvailability	false
heal.fullTextAvailability	false

Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Όνομα: DT MARIA TSAKOUMA ...

Μέγεθος: 3.364Mb

Μορφότυπο: PDF

Περιγραφή: Διπλωματική Εργασία

Προβολή/Άνοιγμα

Αυτό το τεκμήριο εμφανίζεται στην ακόλουθη συλλογή(ές)

• Μεταπτυχιακές Εργασίες [5934]
  

Εμφάνιση απλής εγγραφής