HEAL DSpace

A Masking Approach for Anisotropic Silicon Wet Etching

Αποθετήριο DSpace/Manakin

Εμφάνιση απλής εγγραφής

dc.contributor.author Normand, P en
dc.contributor.author Beltsios, K en
dc.contributor.author Tserepi, A en
dc.contributor.author Aidinis, K en
dc.contributor.author Tsoukalas, D en
dc.contributor.author Cardinaud, C en
dc.date.accessioned 2014-03-01T01:50:38Z
dc.date.available 2014-03-01T01:50:38Z
dc.date.issued 2001 en
dc.identifier.uri https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/26060
dc.title A Masking Approach for Anisotropic Silicon Wet Etching en
heal.type journalArticle en
heal.identifier.primary 10.1149/1.1398559 en
heal.identifier.secondary http://dx.doi.org/10.1149/1.1398559 en
heal.publicationDate 2001 en
heal.journalName Electrochemical and Solid State Letters en
dc.identifier.doi 10.1149/1.1398559 en


Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Αρχεία Μέγεθος Μορφότυπο Προβολή

Δεν υπάρχουν αρχεία που σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο.

Αυτό το τεκμήριο εμφανίζεται στην ακόλουθη συλλογή(ές)

Εμφάνιση απλής εγγραφής