Παλμική εναπόθεση laser για την ανάπτυξη φ/β στοιχείων λεπτών υμενίων πυριτίου

Abstract

Στην παρουσα διπλματικη γίνανε εναποθέσεις λεπτων υμενίου άμορφου υδρογονωμένου πυριτίου με τη μέθοδο της παλμικής εναπόθεσης laser και εξεταστήκανε οι ιδιότητες του για χρήση του ως απορροφητή σε μια ηλιακή κυψέλη. Εξεταστήκανε οι ακολουθες ιδιότητες: διαπερατότητα, ανακλαστικότητα, κρυσταλλικότητα, πυκνότητα δεσμών πυριτίου-υδρογόνου, πάχος υμενίων και αγωγιμότητας.

We deposited hydrogenated silicon thin films using the technique of pulsed laser deposition. The purpose was to form a solar cell with the hydrogenated thin films. We examined the properties of: transmitance, reflectance, conductivity, thickness of the films, the density of the bonds between silicon and hydrogen,and the crystallinity.