HEAL DSpace

Integrated framework for the flux calculation of neutral species inside trenches and holes during plasma etching

Αποθετήριο DSpace/Manakin

Integrated framework for the flux calculation of neutral species inside trenches and holes during plasma etching

Kokkoris, G; Boudouvis, AG; Gogolides, E
URI: https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/17305
Ημερομηνία: 2006

Εμφάνιση πλήρους εγγραφής

Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Αρχεία Μέγεθος Μορφότυπο Προβολή

Δεν υπάρχουν αρχεία που σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο.

Αυτό το τεκμήριο εμφανίζεται στην ακόλουθη συλλογή(ές)