HEAL DSpace

The effect of substrate temperature and biasing on the mechanical properties and structure of sputtered titanium nitride thin films

Αποθετήριο DSpace/Manakin

The effect of substrate temperature and biasing on the mechanical properties and structure of sputtered titanium nitride thin films

Patsalas, P; Charitidis, C; Logothetidis, S
URI: https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/25869
Ημερομηνία: 2000

Εμφάνιση πλήρους εγγραφής

Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Αρχεία Μέγεθος Μορφότυπο Προβολή

Δεν υπάρχουν αρχεία που σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο.

Αυτό το τεκμήριο εμφανίζεται στην ακόλουθη συλλογή(ές)