HEAL DSpace

Simulation of fluorocarbon plasma etching of SiO 2 structures

Αποθετήριο DSpace/Manakin

Simulation of fluorocarbon plasma etching of SiO 2 structures

Kokkoris, G; Gogolides, E; Boudouvis, A
URI: https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/26185
Ημερομηνία: 2001

Εμφάνιση πλήρους εγγραφής

Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Αρχεία Μέγεθος Μορφότυπο Προβολή

Δεν υπάρχουν αρχεία που σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο.

Αυτό το τεκμήριο εμφανίζεται στην ακόλουθη συλλογή(ές)