HEAL DSpace

A new masking method for protecting silicon surfaces during anisotropic silicon wet etching

Αποθετήριο DSpace/Manakin

A new masking method for protecting silicon surfaces during anisotropic silicon wet etching

Normand, P; Beltsios, K; Tserepi, A; Aidinis, K; Tsoukalas, D; Cardinaud, C
URI: https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/26291
Ημερομηνία: 2002

Εμφάνιση πλήρους εγγραφής

Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Αρχεία Μέγεθος Μορφότυπο Προβολή

Δεν υπάρχουν αρχεία που σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο.

Αυτό το τεκμήριο εμφανίζεται στην ακόλουθη συλλογή(ές)