HEAL DSpace

Electron-beam-patterning simulation and metrology of complex layouts on Si/Mo multilayer substrates

Αποθετήριο DSpace/Manakin

Electron-beam-patterning simulation and metrology of complex layouts on Si/Mo multilayer substrates

Patsis, GP; Drygiannakis, D; Tsikrikas, N; Raptis, I; Gogolides, E
URI: https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/35591
Ημερομηνία: 2008

Εμφάνιση πλήρους εγγραφής

Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Αρχεία Μέγεθος Μορφότυπο Προβολή

Δεν υπάρχουν αρχεία που σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο.

Αυτό το τεκμήριο εμφανίζεται στην ακόλουθη συλλογή(ές)