HEAL DSpace

Kinetic model development and CFD simulation of a silicon oxynitride (SiOxNy) CVD process from TDMSA/O2 mixtures

Αποθετήριο DSpace/Manakin

Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Αυτό το τεκμήριο εμφανίζεται στην ακόλουθη συλλογή(ές)