HEAL DSpace

Etching of SiO2 features in fluorocarbon plasmas: Explanation and prediction of gas-phase-composition effects on aspect ratio dependent phenomena in trenches

Αποθετήριο DSpace/Manakin

Etching of SiO2 features in fluorocarbon plasmas: Explanation and prediction of gas-phase-composition effects on aspect ratio dependent phenomena in trenches

Kokkoris, G; Gogolides, E; Boudouvis, AG
URI: https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/14683
Ημερομηνία: 2002

Εμφάνιση πλήρους εγγραφής

Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Αρχεία Μέγεθος Μορφότυπο Προβολή

Δεν υπάρχουν αρχεία που σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο.

Αυτό το τεκμήριο εμφανίζεται στην ακόλουθη συλλογή(ές)