HEAL DSpace

Fabrication of single crystal Si cantilevers using a dry release process and application in a capacitive-type humidity sensor

Αποθετήριο DSpace/Manakin

Fabrication of single crystal Si cantilevers using a dry release process and application in a capacitive-type humidity sensor

Chatzandroulis, S; Tserepi, A; Goustouridis, D; Normand, P; Tsoukalas, D
URI: https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/26351
Ημερομηνία: 2002

Εμφάνιση πλήρους εγγραφής

Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Αρχεία Μέγεθος Μορφότυπο Προβολή

Δεν υπάρχουν αρχεία που σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο.

Αυτό το τεκμήριο εμφανίζεται στην ακόλουθη συλλογή(ές)