HEAL DSpace

Simulation of SiO2 and Si feature etching for microelectronics and microelectromechanical systems fabrication: A combined simulator coupling modules of surface etching, local flux calculation, and profile evolution

Αποθετήριο DSpace/Manakin

Simulation of SiO2 and Si feature etching for microelectronics and microelectromechanical systems fabrication: A combined simulator coupling modules of surface etching, local flux calculation, and profile evolution

Kokkoris, G; Tserepi, A; Boudouvis, AG; Gogolides, E
URI: https://dspace.lib.ntua.gr/xmlui/handle/123456789/31160
Ημερομηνία: 2004

Εμφάνιση πλήρους εγγραφής

Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Αρχεία Μέγεθος Μορφότυπο Προβολή

Δεν υπάρχουν αρχεία που σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο.

Αυτό το τεκμήριο εμφανίζεται στην ακόλουθη συλλογή(ές)