Shape optimization of a showerhead system for the control of growth uniformity in a MOCVD reactor using CFD-based evolutionary algorithms

Xenidou, TC; Prud'homme, N; Aloui, L; Vahlas, C; Markatos, NC; Boudouvis, AG

Ημερομηνία: 2009

Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο

Αρχεία	Μέγεθος	Μορφότυπο	Προβολή
Δεν υπάρχουν αρχεία που σχετίζονται με αυτό το τεκμήριο.